特許
J-GLOBAL ID：200903038086603767
露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-014555
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260281
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 パルスレーザを光源とする走査型の露光装置の露光面上の積算露光量に関する情報を表示手段に表示し、これを利用することによって高集積度のデバイスを容易に製作することができる露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 パターンが形成されたマスクを走査するマスク走査手段と、該パターンを投影する投影光学系と、該パターンが投影されるウエハを走査するウエハ走査手段とを有し、該マスク走査手段及びウエハ走査手段によって該マスク及びウエハを同期して走査しながら該パターンよりも狭い照明領域で該マスクを順次照明し、該ウエハに該パターンを露光転写する露光装置において、該パターンを該ウエハに露光転写する際の露光に関する情報を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果から得られる情報を表示する表示手段とを有すること。
請求項（抜粋）：
パターンが形成されたマスクを走査するマスク走査手段と、該パターンを投影する投影光学系と、該パターンが投影されるウエハを走査するウエハ走査手段とを有し、該マスク走査手段及びウエハ走査手段によって該マスク及びウエハを同期して走査しながら該パターンよりも狭い照明領域で該マスクを順次照明し、該ウエハに該パターンを露光転写する露光装置において、該パターンを該ウエハに露光転写する際の露光に関する情報を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果から得られる情報を表示する表示手段とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 B
, H01L 21/30 516 D
