特許
J-GLOBAL ID：200903038093933365
ポリウレタン・ポリウレア系均一研磨シート材
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412556
公開番号（公開出願番号）：特開2004-169038
出願日： 2003年11月06日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
〔課題〕 精密研磨分野における研磨シート材としては、凡そ20年以上回文式の製法であった。これは大型の樹脂ブロック体から2次的に所望の薄いシート状に加工して、その硬度や気泡サイズ等のバラツキは非常に大きい物であり課題を残していた。〔解決手段〕 ポリウレタン・ポリウレア研磨シート材を以下の(イ)〜(ハ)の条件を満たすことにより要求される均一性において見かけ密度のバラツキを中心値±5%以内におさえ、超精密鏡面研磨業界が長年の望んでいた製品を供給することを可能にした。(イ)ポリウレタン・ポリウレア研磨シート材原料として、所定の成分を2〜3成分に配合、混合する工程。(ロ)25mm以下の有効間隔を有する相対する2枚の無限軌道ステンレススチールベルト間に吐出する工程。(ハ)該ベルト間で加熱処理して必要時実質的キュアリング迄連続する工程から製造されるポリウレタン・ポリウレア研磨シート材【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(イ)下記の(a)〜(d)
(a)平均分子量5000以下のポリオール
(b)有機ジイソシアネートと反応し得る活性水素を2つ以上有する分子量300以下の化合物
(c)研磨促進材
(d)重合硬化触媒
を含んでなるA成分と、下記の(e)及び(f)
(e)有機ジイソシアネート及び/又は有機ポリイソシアネート
(f)有機ジイソシアネート及び/又は有機ポリイソシアネートと反応し得る活性水素を2つ以上有する化合物と有機ジイソシアネート及び/又は有機ポリイソシアネートとを反応せしめて得られる末端イソシアネート基を有する平均分子量2000以下のプレポリマー
から選ばれた1種以上を含んでなるB成分とを、A成分中の活性水素の総化学当量がB成分中のイソシアネート基の総化学当量と同じかそれ以下となるような割合で混合する工程、
(ロ)上記工程で得られた混合物を、相対する双方のベルト面が25mm以下の有効間隔を保ちつつ走行するように対向して配設された一対の無限軌道面ベルトと該面ベルトの走行路に沿って設けられた加熱手段とを具えてなる加熱成形機構の上記双方の面ベルト間に吐出し流延させる工程、及び
(ハ)上記双方の面ベルト間に流延され挟持されて移動する混合物を、上記加熱手段によって加熱処理して重合反応を完結せしめ、必要ならばさらにキュアリングを行った後、生成したシート状成形物を面ベルトから分離する工程
からなる連続する工程によって得られる見かけ密度が少なくとも0.25以上で且つ厚み方向に2層に分割した時の各層の見かけ密度の全体の見かけ密度に対する差が5%以内である均質なポリウレタン・ポリウレア研磨シート材。
IPC (4件)：
C08G18/65
, B24B37/00
, C08J9/26
, H01L21/304
C08G18/65 D
, B24B37/00 C
, C08J9/26 101
, H01L21/304 622F
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB03
, 3C058DA12
, 3C058DA17
, 4F074AA78
, 4F074AD09
, 4F074AG20
, 4F074CB16
, 4F074CB27
, 4F074CC35Y
, 4F074CC45Y
, 4F074CC64
, 4F074DA02
, 4J034BA08
, 4J034CA03
, 4J034CA15
, 4J034CB03
, 4J034CC01
, 4J034DB03
, 4J034HA01
, 4J034HA07
, 4J034HA08
, 4J034HC03
, 4J034HC12
, 4J034HC13
, 4J034HC17
, 4J034HC22
, 4J034HC46
, 4J034HC52
, 4J034HC61
, 4J034HC64
, 4J034HC67
, 4J034HC71
, 4J034HC73
, 4J034JA01
, 4J034JA43
, 4J034MA02
, 4J034MA03
, 4J034MA04
, 4J034PA04
, 4J034RA11
