ガスセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074941
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288952
出願日： 1993年04月01日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】容易に小型化でき、最良の応答速度と検出感度が安定して得られ、検出値の再現性が高いガスセンサを得る。【構成】絶縁性基板10の表面にガス検出体11と温度センサ12が設けられ、この基板の裏面にガス検出体を加熱するヒータ16が設けられる。温度センサはチップサーミスタであってガス検出体の近傍の基板表面に実装され、ガス検出体の温度を検出する。温度センサ12の検出出力に基づいてガス検出体11の温度が一定になるようにヒータ16への印加電圧を制御するコントローラ20を備える。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板(10)の表面にガス検出体(11)と温度センサ(12)が設けられ、前記基板(10)の裏面に前記ガス検出体(11)を加熱するヒータ(16)が設けられたガスセンサにおいて、前記温度センサ(12)がガス検出体(11)の近傍の前記基板(10)表面に実装され前記ガス検出体(11)の温度を検出するチップサーミスタであることを特徴とするガスセンサ。

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