特許

J-GLOBAL ID：200903038097458939

ポジ型感光性組成物

発明者： 児玉 邦彦
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-320379
公開番号（公開出願番号）：特開2003-122011
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】 露光ラチチュードに優れ、疎密依存性が小さいポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】 (A)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び(C)分子内に含窒素塩基性基及び酸性基を有する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び(C)含窒素塩基性基及び酸性基を有する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/04 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/04 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (32件)：

2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BG031 ,  4J002BK001 ,  4J002EN027 ,  4J002ER008 ,  4J002ER028 ,  4J002EU027 ,  4J002EU037 ,  4J002EU048 ,  4J002EU077 ,  4J002EU078 ,  4J002EU098 ,  4J002EU117 ,  4J002EU118 ,  4J002EU128 ,  4J002EU137 ,  4J002EU138 ,  4J002EU237 ,  4J002EV237 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03