特許
J-GLOBAL ID：200903038101563467
精密部品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346366
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194832
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 マイクロマシン等の精密な機械部品を比較的容易に、かつ安価に製造する。【構成】 エチレン性不飽和結合を有するプレポリマーとエチレン性不飽和化合物単量体からなる液状感光性樹脂を硬化して母型を作製した後、メッキにより金属部品を作製する。
請求項（抜粋）：
(1)基板に必要に応じて無電解メッキに対する触媒付与を行い、その表面に厚さ80μm以上のエチレン性不飽和結合を有するプレポリマー、またはエチレン性不飽和結合を有するプレポリマーおよびエチレン性不飽和化合物単量体からなる液状感光性樹脂を被着する工程、(2)上記感光性樹脂を露光、現像し、樹脂母型を形成する工程、(3)母型の凹部分に必要に応じて無電解メッキを行い、さらに電解メッキにより金属皮膜を析出させ、精密部品を形成する工程、(4)感光性樹脂母型を除去する工程、からなる精密部品の製造方法。
IPC (3件)：
G03F 7/027 511
, G03F 7/027
, B29C 33/40
