特許
J-GLOBAL ID:200903038102331101
放電励起型レーザ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高田 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-186839
公開番号(公開出願番号):特開平6-005952
出願日: 1992年07月14日
公開日(公表日): 1994年01月14日
要約:
【要約】【目的】 放電励起型レーザ装置の光学部品劣化を防止する。【構成】 紫外線レーザを出力する放電励起型レーザ装置において、レーザ光軸上に設置され、少なくとも一面が外気と接するレーザ光学部品2、3の周囲に、外気と隔てるための覆い10a、10bを設ける。
請求項(抜粋):
レーザガスを充填するチャンバ、上記チャンバ内で放電によりレーザガスを励起する放電電極、及びレーザ光軸上に設置されたレーザ光学部品を備え、紫外線レーザを出力する放電励起型レーザ装置において、少なくとも一面が外気と接する上記レーザ光学部品の周囲に外気と隔てるための覆いを設けたことを特徴とする放電励起型レーザ装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S 3/03 G
, H01S 3/08 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭61-203689
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特開平1-099271
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特開昭52-156642
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