特許

J-GLOBAL ID：200903038104037944

電子ビーム鏡筒用レンズ部材

発明者： マイケル・ソガード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057388
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329471
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【解決課題】 電子線露光機の電子光学系では投影レンズの焦点距離は収差、特にクーロン効果、抑制のためには短い方が好ましい。しかしながら、焦点距離を短くすると作動距離が短くなってレチクルやウェハのステージ配置に支障をきたす。【解決手段】 レンズを収納部材に収納し、収納部材の内部を真空にすることによりウェハやレチクルに近い、収納部材の端面板を薄くできる。これによって作動距離の確保が容易に出来る。

請求項（抜粋）：

真空中で動作する電子ビーム光学システムに使用するレンズ部材であって、該レンズ部材は密閉囲いを形成する収納部及び該収納部に配置された、すくなくとも1つのレンズを有し、該収納部は密閉囲い中を真空にするための真空装置に接続するポートを有することを特徴とするレンズ部材。

IPC (5件)：

H01J 37/141 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/18 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/141 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/18 ,  H01L 21/30 541 B

Fターム (11件)：

5C033DD07 ,  5C033DD09 ,  5C033DD10 ,  5C033DE07 ,  5C033GG01 ,  5C033KK01 ,  5C033KK06 ,  5F056EA05 ,  5F056EA06 ,  5F056EA12 ,  5F056EA16