特許
J-GLOBAL ID:200903038105194083
不織布研磨シート
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-019351
公開番号(公開出願番号):特開2007-196336
出願日: 2006年01月27日
公開日(公表日): 2007年08月09日
要約:
【課題】研磨層(ポリウレタンエラストマーからなる多孔質銀面層)表面の均一性に優れ、被研磨面を凹凸なく均一に研磨することが出来る研磨シートを提供すること。【解決手段】研磨面の表面に微細孔を多数形成させた多孔質銀面層を有する研磨シートであって、前記微細孔のうち孔径50μmφ以下の微細孔が表面に存在する全微細孔の85%以上を占め、該多孔質銀面層を塗布するベース基材が厚さ0.7〜2.5mmのポリエステル不織布である不織布研磨シート。【選択図】なし
請求項(抜粋):
研磨面の表面に微細孔を多数形成させた多孔質銀面層を有する研磨シートであって、前記微細孔のうち孔径50μmφ以下の微細孔が表面に存在する全微細孔の85%以上を占め、該多孔質銀面層を塗布するベース基材が厚さ0.7〜2.5mmのポリエステル不織布であることを特徴とする不織布研磨シート。
IPC (3件):
B24B 37/00
, C08J 5/14
, C08L 67/00
FI (3件):
B24B37/00 C
, C08J5/14
, C08L67/00
Fターム (18件):
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CA06
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058CB03
, 3C058CB10
, 3C058DA17
, 4F071AA43
, 4F071AA53
, 4F071AE13
, 4F071AF22
, 4F071DA03
, 4F071DA11
, 4F071DA20
, 4J002CF001
, 4J002CK022
, 4J002FA041
引用特許:
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