特許
J-GLOBAL ID：200903038106686389
微粒洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283885
公開番号（公開出願番号）：特開平8-141524
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 多結晶シリコン種等の微粒を高効率で充分良好に洗浄するのに適した微粒洗浄装置を提供する。【構成】 微粒洗浄装置は外側容器(20a乃至20i)と内側容器(70)とを具備する。内側容器(70)の底壁には多数の小開口が形成されている。外側容器(20a乃至20i)には洗浄液供給手段と洗浄液排出手段とが付設されている。内側容器(70)を外側容器(20a乃至20i)内に挿入し、外側容器(20a乃至20i)内で繰り返し上下動せしめるための移動手段(42、48、50)が配設されている。
請求項（抜粋）：
上面が開放された外側容器と、側壁と底壁とを有し該底壁には洗浄液は通過することができるが洗浄すべき微粒は通過することができない多数の小開口が形成されている内側容器と、該外側容器内に洗浄液を供給するための洗浄液供給手段と、該外側容器から洗浄液を排出するための洗浄液排出手段と、該内側容器を該外側容器に対して相対的に下降せしめて該外側容器内に挿入し、該外側容器内において該外側容器に対して相対的に上下動せしめ、更に該外側容器に対して相対的に上昇せしめて該外側容器から引き出すための移動手段とを具備する、ことを特徴とする微粒洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 3/04
, B08B 11/00
, H01L 21/304 341
