特許
J-GLOBAL ID：200903038108343306
赤外線検出器
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267202
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120569
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、低コストで検出感度の良好な赤外線検出器を提供することを目的とする。【構成】 本発明の赤外線検出器10は、上部電極7、焦電効果を有する薄膜素子6、下部電極5及び機械的支持絶縁性薄膜2の積層体からなる赤外線検出部と、さらに、その赤外線検出部を熱的に基板から分離する目的で基板に形成される熱分離空間3によって構成される赤外線検出単位素子11を、前記基板1上に複数個近接して配列し、各赤外線検出単位素子11の上部電極7、下部電極5を並列接続したものである。 この構成により、生産性が良く低コスト化が可能であり、かつ、赤外線の集光面積が広く検出感度の良好な赤外線検出器10を提供することが出来る。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成された上部電極、焦電効果を有する薄膜素子、下部電極及び機械的支持絶縁性薄膜の積層体からなる赤外線検出部と、前記赤外線検出部と基板の間の基板側に形成された熱分離空間によって構成される赤外線検出単位素子を、前記基板上に複数個近接して配列し、各赤外線検出単位素子の上部電極、下部電極をそれぞれ並列接続したことを特徴とする赤外線検出器。
IPC (2件)：
引用特許：
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