特許
J-GLOBAL ID：200903038109479791
ビームガイド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135460
公開番号（公開出願番号）：特開平8-007827
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 4重極ビームガイドにおいて、真空度が悪い場合にも良好に荷電粒子を進行させる。【構成】 電極11、12、13、14は体積抵抗を有する柱状の抵抗体で形成されている。電源15の電圧V<SB>+IN</SB> は従来の高周波電圧V<SB>+</SB> に入射口直流電圧V<SB>IN</SB>が加算されたもの、電源17の電圧V<SB>+OUT</SB>は従来の高周波電圧V<SB>+</SB> に出射口直流電圧V<SB>OUT</SB> が加算されたもの、電源16の電圧V<SB>-IN</SB> は従来の高周波電圧V<SB>-</SB> に入射口直流電圧V<SB>IN</SB>が加算されたもの、電源18の電圧V<SB>-OUT</SB>は従来の高周波電圧V<SB>-</SB> に出射口直流電圧V<SB>OUT</SB> が加算されたものである。従って、荷電粒子がマイナスイオンの場合はV<SB>IN</SB><V<SB>OUT</SB> とすることによって、z軸上にはマイナスイオンに対する加速電場が形成されるので、真空度が悪い場合でも荷電粒子をz軸に沿って進行させることができる。
請求項（抜粋）：
2n本(但し、nは2以上の自然数)の柱状電極を備え、各電極に高周波電圧を印加することによって荷電粒子を通過させるビームガイドにおいて、光軸上には荷電粒子を加速する方向に電場が形成されていることを特徴とするビームガイド。
IPC (2件)：
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