特許

J-GLOBAL ID：200903038119213986

AlN焼結体およびその製造方法

発明者： 塩井 恒介 ,  森口 敏和
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 寺田 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-201281
公開番号（公開出願番号）：特開平5-024930
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】高熱伝導率を維持し、耐熱疲労特性の優れた AlN焼結体を提供する。【構成】AlN原料粉末、焼結助剤、酸素含有量調整剤、イットリウムの酸化物および/又は炭酸塩の配合量を所定の範囲に定め、更に脱脂後の成形体中に含まれる炭素量が一定の範囲におさまるよう配合を調整するこにより、 AlN焼結体の粒界相の組織を特定のものに制御するとともに、その組成を3Y2O3・5Al2O3相およびY2O3・Al2O3相にした AlN焼結体。

請求項（抜粋）：

粒界相を含有する AlN焼結体において、該焼結体切断面における粒界相の(a)平均周長が0.1〜15μm で、(b)平均最小径と平均最大径の比率が0.5〜1.0で、(c)平均粒径と AlN粒の平均粒径の比率が0.5以下であり、かつ該粒界相組成が3Y2O3・5Al2O3 およびY2O3・Al2O3 からなることを特徴とする AlN焼結体。