特許

J-GLOBAL ID：200903038121527858

パターン欠陥検査装置

発明者： 梶浦 広行
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168659
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021757
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】 繰り返しパターンを持つ検査物体の非繰り返しパターンを検出し、検出した非繰り返しパターンを判別すると共に、欠陥であるかどうかの判定を自動的に行うことができるパターン欠陥検査装置を提供する。【課題解決手段】 検査物体を撮像する第1の撮像手段102と、検査物体の画像から繰り返しパターンのセルの位置を求める手段104と、検査物体の非繰り返しパターンを撮像する第2の撮像手段103と、検査物体の非繰り返しパターンの画像から特徴量を抽出する手段105と、非繰り返しパターンの特徴量を補正する手段106と、非繰り返しパターンの判別を行う手段107とにより構成される。

請求項（抜粋）：

繰り返しパターンを有する物体の欠陥検査装置であって、被検査物体の繰り返しパターンを撮像する第1の撮像手段と、前記被検査物体の非繰り返しパターンを撮像する第2の撮像手段と、前記非繰り返しパターンの少なくともその位置に関する情報を含む特徴量を抽出する手段と、前記位置に関する特徴量を求めた際に用いた基準点を前記非繰り返しパターンを含むセル内の基準点に変更することにより前記特徴量を補正する手段と、少なくとも該補正された特徴量に基づいて前記非繰り返しパターンが欠陥か否かを判別する手段とを備えることを特徴とするパターン欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/00 ,  G06F 15/18 560 ,  G06T 7/00

FI (6件)：

G01N 21/88 E ,  G01B 11/00 C ,  G06F 15/18 560 C ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 330 N ,  G06F 15/70 465 A