特許
J-GLOBAL ID：200903038126491010
光学定数測定方法およびその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295405
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152404
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 透光性のある基板の裏面からの反射光ビームの影響を除去して光学定数を正確に測定する。【構成】 入射光ビームをレンズ3により集光させて透光性のある基板4の表面に入射し、透光性のある基板4からの反射光ビームをレンズ3によりアレイ検出器5に照射するに当って、基板4の裏面からの反射光ビームのビーム径を小さくし、このビーム径の範囲を除く範囲におけるセンサ素子からの出力信号に基づいて光学定数を算出する。
請求項（抜粋）：
透光性のある基板(4)表面に収束光または発散光を照射し、該収束光または該発散光の前記透光性のある基板(4)における反射光の光強度分布を検出し、該光強度分布のうち、前記収束光または前記発散光の前記透光性のある基板(4)表面における反射光の光強度分布に基づいて前記透光性のある基板(4)の光学定数または前記透光性のある基板(4)表面に形成された薄膜(4a)の光学定数を測定することを特徴とする光学定数測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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