特許

J-GLOBAL ID：200903038136728299

大気圧プラズマ処理装置、大気圧プラズマ処理方法及びそれを用いて作製した長尺フィルム

発明者： 村上 隆
出願人/特許権者： コニカ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-345907
公開番号（公開出願番号）：特開2003-201570
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、真空装置が不要で、高温処理も行わずに広幅の基材を高速での連続処理、高生産性、膜厚が均一で安定した薄膜を得ることができ、かつ連続的に均一薄膜の多層積層体を形成する大気圧プラズマ処理装置、大気圧プラズマ処理方法及びそれを用いて作製した長尺フィルムを提供すること。【解決手段】 大気圧又は大気圧近傍の圧力下で、電極間に高周波電圧を印加してグロープラズマを発生させ、基材表面に薄膜形成する大気圧プラズマ処理装置で、ロール電極と対向電極とからなる電極対の放電部を複数有し、複数のロール電極は基材を張架、屈曲させて搬送可能な位置に配置し、基材を複数のロール電極とこれに対向する対向電極の間を通過させ、各電極対で発生するグロープラズマにより基材表面に薄膜を形成することを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。

請求項（抜粋）：

大気圧もしくは大気圧近傍の圧力の反応ガスの存在下で、電極間に高周波電圧を印加してグロープラズマを発生させ、基材表面に薄膜を形成する大気圧プラズマ処理装置において、ロール電極とそれに対向する対向電極とからなる電極対の放電部を複数有し、該複数のロール電極は該基材を張架し、かつ該基材を屈曲させて搬送可能な位置に配置されると共に、該基材を該複数のロール電極とこれに対向する対向電極の間を通過させ、各電極対で発生するグロープラズマにより基材表面に薄膜を形成することを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。

IPC (5件)：

C23C 16/54 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/505 ,  H05H 1/24 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

C23C 16/54 ,  B01J 19/08 H ,  C23C 16/505 ,  H05H 1/24 ,  H05H 1/46 A

Fターム (24件)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC02 ,  4G075BC03 ,  4G075CA47 ,  4G075EC21 ,  4G075FC04 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA16 ,  4K030BA46 ,  4K030BB12 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030DA02 ,  4K030FA03 ,  4K030GA04 ,  4K030GA14 ,  4K030JA09 ,  4K030KA08 ,  4K030KA16 ,  4K030KA30 ,  4K030KA47 ,  4K030LA11