2次元量子デバイス構造

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346308
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112122
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】結晶欠陥の発生や不純物の混入がなく、十分な量子閉じ込め効果を生ずる寸法、形状に細線形成が可能であり、また量子細線の高密度配列が可能であり、原子拡散に伴う影響を受けない再現性の良い半導体結晶製造方法。【構成】先ず{111}または{110}面から0.5〜15度傾斜した半導体基板上に回折格子を形成し、その回折格子上にMBE法、またはGSMBE法により半導体結晶を成長させる。

請求項（抜粋）：