特許
J-GLOBAL ID:200903038150482812

積層型圧電アクチュエータの冷却構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大川 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-274579
公開番号(公開出願番号):特開平7-131085
出願日: 1993年11月02日
公開日(公表日): 1995年05月19日
要約:
【要約】【目的】冷却液の出入口を1つにまとめることにより、全体構造を簡素化し、スペース確保が困難な部位にも適用可能な積層型圧電アクチュエータの冷却構造を提供する。【構成】冷却パイプ3は、積層体1の一端側から中央開口1a内に装入されるとともに、その先端が閉口端となって積層体1の他端側まで延設されている。冷却液輸送パイプ6は、積層体1の一端側から冷却パイプ3の内側に装入されるとともに、その先端が開口端となって冷却パイプ3の閉口端付近まで延設されている。冷却液供給装置としてのポンプ7及び熱交換器8は積層体1の一端側付近に配設され、冷却液輸送パイプ6及び冷却パイプ3の各基端側がそれぞれ接続されている。
請求項(抜粋):
中央に開口をもつ圧電板と、中央に開口をもつ電極板とを交互に複数枚積層してなる中央開口付積層体と、該積層体の一端側から上記中央開口内に装入されるとともに、その先端が閉口端となって上記積層体の他端側まで延設された冷却パイプと、上記積層体の一端側から上記冷却パイプの内側に装入されるとともに、その先端が開口端となって上記冷却パイプの閉口端付近まで延設された冷却液輸送パイプと、上記積層体の一端側付近に配設されるとともに、上記冷却パイプ及び上記冷却液輸送パイプの各基端側がそれぞれ接続され、上記冷却パイプから帰還する冷却液を冷却するとともに、冷却された冷却液を上記冷却液輸送パイプに供給する冷却液供給装置とを備えたことを特徴とする積層型圧電アクチェータの冷却構造。
IPC (3件):
H01L 41/083 ,  F02M 51/06 ,  H01L 23/473
FI (2件):
H01L 41/08 N ,  H01L 23/46 Z

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