特許
J-GLOBAL ID：200903038150843696
ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266459
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100896
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 ウェハを浮上させた状態で搬送する方式を採用しつつ、ウェハを送り出すために必要な仕組みを簡易に構築することができるようにする。【解決手段】 多数の吐出孔1...から噴出するガスGによってウェハWを浮上させた状態で搬送するウェハ搬送装置Aであって、上記吐出孔1...が形成された吐出面2を有し、その吐出面2上で浮上したウェハWを保持しつつ水平移動可能とされたユニット本体10と、ユニット本体10の吐出面2外周に沿って組み付けられ、その吐出面2上でウェハWの外周全長を包囲する一方、ウェハWの送り方向F側略半周を包囲する第1のガード部材20Aが、吐出面2下に引き下げられるように上下動可能とされたガード部材20とを備えている。上記吐出孔1...のうちの送り方向F側に位置する第1の吐出孔1aは、そこから噴出するガスGの噴射方向がウェハWの送り方向F側に偏向されている。
請求項（抜粋）：
ウェハの裏面に対して多数の吐出孔から噴出したガスを吹き当てつつ、これら吐出孔が形成された吐出面上に上記ウェハを浮上させた状態で搬送するウェハ搬送装置であって、上記吐出孔のうちの少なくとも一つは、そこから噴出するガスの噴射方向が上記ウェハの送り方向側に偏向されていることを特徴とする、ウェハ搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, B65G 51/03
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 J
, B65G 51/03 A
