特許
J-GLOBAL ID：200903038158071692
機能デバイス、その製造方法及び駆動回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-226416
公開番号（公開出願番号）：特開2003-140064
出願日： 2002年08月02日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 多チャンネル化しても大型化することを抑制でき、更に、低コスト化及び光通信の信頼性の向上を図った機能デバイス、その製造方法及び駆動回路を提供する。【解決手段】 駆動回路基板2を設け、この駆動回路基板2に積層するように、ミラー基板1を設ける。ミラー基板1には、例えば9個のミラー素子11を設け、(3行×3列)のマトリクス状に配列する。ミラー素子11は微小電気機械システム(MEMS)により作製する。また、駆動回路基板2には絶縁性の基板を設け、この基板上にミラー素子11を駆動する駆動回路を設ける。駆動回路基板2は、熱硬化性接着剤からなる樹脂層3を介してミラー基板1に接合する。
請求項（抜粋）：
入力された信号を加工して出力する複数の機能素子と、基板及びこの基板上に設けられ前記機能素子を駆動する駆動回路を備えた駆動回路基板と、絶縁性材料からなり前記機能素子と前記駆動回路基板とを相互に接合する絶縁層及びこの絶縁層中に設けられ前記機能素子と前記駆動回路とを相互に接続する接続端子を備えた接合層と、を有することを特徴とする機能デバイス。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81B 7/04
, G02B 26/00
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, B81B 7/04
, G02B 26/00
2H041AA16
, 2H041AA21
, 2H041AB10
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
