特許
J-GLOBAL ID：200903038163614971
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-301632
公開番号（公開出願番号）：特開2009-125761
出願日： 2007年11月21日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】1つのレーザ光を複数に分光し、被加工物上に同時に照射して加工を行うレーザ加工装置において、分光された各レーザ光の被加工物上での照射領域の大きさを等しくすることができるレーザ加工装置を得ること。【解決手段】分光された複数のレーザ光のうちのレーザ光Lαの光路上に配置され、レーザ光Lαの被加工物12上でのビーム径を変化させる焦点差補正鏡25aと、焦点差補正鏡25aのメリジオナル方向の結像位置とサジタル方向の結像位置を変化させないように、焦点差補正鏡25aの反射面のメリジオナル方向とサジタル方向の曲率を変化させる焦点差補正鏡制御機能52と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の偏向手段でレーザ光を複数のレーザ光に分光し、第2の偏向手段で異なる複数の光路を経由してきた前記複数のレーザ光を混合し、前記複数のレーザ光をそれぞれ走査して、テーブル上に配置された被加工物上の異なる位置に同時に照射して加工を行うレーザ加工装置において、
分光された前記複数のレーザ光の少なくとも1つの光路上に、該光路を経由するレーザ光の前記被加工物上でのビーム径を変化させる焦点差補正鏡と、
前記被加工物上での前記レーザ光の照射面内で照射面の中心を通り互いに直交する2つの方向を第1と第2の方向とし、これらの第1と第2の方向に対応する前記焦点差補正鏡の反射面内での第3と第4の方向における前記焦点差補正鏡の曲率をそれぞれRM2,RS2とし、前記レーザ光の前記焦点差補正鏡に対する入射角をθとしたときに、下記式(1)にしたがって、前記焦点差補正鏡の前記第3および第4の方向の曲率を変化させる焦点差補正鏡制御手段と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/04
, B23K 26/067
, B23K 26/08
, G02B 5/10
B23K26/04 C
, B23K26/067
, B23K26/08 B
, G02B5/10 B
2H042DD05
, 2H042DD11
, 2H042DD13
, 2H042DE06
, 2H042DE07
, 4E068AF00
, 4E068CA11
, 4E068CB02
, 4E068CD03
, 4E068CD12
, 4E068CE03
