特許

J-GLOBAL ID：200903038166435997

電界発光素子の製造方法及びその装置、並びに電界発光素子用のペレットの製造方法

発明者： 鬼島 靖典 ,  田村 眞一郎 ,  浅井 伸利
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055292
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252061
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 有機EL素子の有機層の構成材料が、迅速かつ周囲を汚染することなく、真空蒸着装置内で供給できる生産性の高い電界発光素子の製造方法及びその装置、並びに電界発光素子用のペレットの製造方法を提供すること。【解決手段】 有機層の材料種ごとにペレット25化してホルダー21に収容し、真空チャンバー20内に配した坩堝23上にそれぞれの材料のペレット25を収容したホルダー21を配し、このペレット25の重力による自然落下によってペレット25を坩堝23に供給しながら、各坩堝23上を搬送されるITO基板24に対してそれぞれのペレット25を飛翔させて蒸着し、有機層を形成する。

請求項（抜粋）：

発光領域を含む有機層が積層されている電界発光素子を製造するに際し、前記有機層の構成材料をペレット化し、このペレットを用いて前記有機層を物理的に成膜する、電界発光素子の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/14 A

Fターム (19件)：

3K007AB04 ,  3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB08 ,  4K029DB15