高周波誘導結合プラズマ質量分析装置用ノズル及びスキマー

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-277054
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115702
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】高周波誘導結合プラズマ質量分析装置による超微量元素の分析を簡便に行う。【構成】高周波誘導結合プラズマ質量分析装置のノズル11及びスキマー12を白金材質で形成する。【効果】高周波誘導結合プラズマ質量分析装置を用いて多種の金属を微量分析する際、金属によってノズル、スキマーを取り替えることなく、正確に、一斉分析できる。

請求項（抜粋）：

白金で形成したことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析装置用ノズル

IPC (2件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62

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