光配向用偏光光照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-390313
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189301
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】偏光素子とインテグレータレンズからなる光学ユニットを小型化し、コストを低減し、装置全体の小型化を図ること。【解決手段】ランプ1からの光は、インテグレータレンズ4の光入射側レンズ群4aに入射する。インテグレータレンズ4の光入射側のレンズ群4aと光出射側のレンズ群4bと間には偏光素子5が配置され、偏光素子5に入射する光は偏光分離される。光出射側のレンズ群4bから出射する偏光光は、シャッタ6、第2の平面鏡7を介してコリメータレンズ8で平行光にされ、ワークWに照射される。偏光素子5を光入射側レンズ群4aと光出射側レンズ群4bの間に設けたので光路長を短くすることができ、また、偏光素子5の径が大きくならず装置の小型化を図ることができる。偏光素子5としては、偏光ビームスプリッタやガラス板を複数枚傾けて配置した偏光素子を用いることができる。

請求項（抜粋）：

偏光素子により偏光された光を光配向膜に照射するインテグレータレンズを備えた光配向用偏光光照射装置であって、上記インテグレータレンズは、光入射側のレンズ群と光出射側のレンズ群とを離間して配置した構造であり、上記偏光素子を上記インテグレータレンズの光入射側のレンズ群と光出射側のレンズ群との間に設けたことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。

IPC (7件)：

G03F 7/20 501 , G02B 3/00 , G02B 5/04 , G02B 5/30 , G02B 19/00 , G02F 1/13363 , G02F 1/1337

FI (8件)：

G03F 7/20 501 , G02B 3/00 A , G02B 5/04 A , G02B 5/04 D , G02B 5/30 , G02B 19/00 , G02F 1/13363 , G02F 1/1337

Fターム (25件)：

2H042CA10 , 2H042CA14 , 2H042CA16 , 2H042CA17 , 2H049BA43 , 2H049BB03 , 2H049BB62 , 2H049BC14 , 2H049BC22 , 2H052BA02 , 2H052BA06 , 2H052BA09 , 2H052BA11 , 2H090HC13 , 2H090HC18 , 2H090HD14 , 2H090LA06 , 2H091FA11X , 2H091FA11Z , 2H091FC29 , 2H091GA06 , 2H091LA11 , 2H091LA12 , 2H097CA06 , 2H097CA12

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