特許
J-GLOBAL ID：200903038180653093
カンチレバーホルダー及びこれを用いた加熱装置、並びにこれを用いた加熱・形状計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344501
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159680
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【目的】 試料の原子、分子オーダーの微小領域を局所的に加熱可能とする。【構成】 カンチレバー1の支持体1aを板ばね4と基板3の上面との間に挟持することにより、カンチレバー1が保持される。基板3の上面には、ヒータとしての金属パターン8が形成されている。パターン8に電流を流すと、パターン8が発熱し、この熱が基板3、カンチレバー1の支持体1a、カンチレバー1の可撓性プレート1bを介して探針1cに伝導され、探針1cの先端部が加熱される。探針1cの先端部を介して試料表面の原子、分子オーダーの微小領域が局所的に加熱される。
請求項（抜粋）：
探針を有するカンチレバーを保持するカンチレバーホルダーにおいて、保持されたカンチレバーを加熱するヒータを備えたことを特徴とするカンチレバーホルダー。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
