特許

J-GLOBAL ID：200903038183610794

プレーナ光導波路の作製方法及び得られたデバイス

発明者： スハス ダッタトレヤ バンダーカー ,  ジョン バーネット マックチェスニー
出願人/特許権者： アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-260456
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297236
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】 プレーナ光導波路の作製方法及び得られたデバイス【目的】 導波路ようなプレーナ光デバイスの作製方法とその装置を提供する。【構成】 下部クラッドを有する基板を準備し、下部クラッド上にコアガラスの粒子層を堆積させ、低温粘性シンタにより粒子層を固化させ、光導波路を形成するため、固化層をパターン形成し、上部クラッドを形成することにより、本発明に従いプレーナ導波路デバイスが作製される。ガラス層はスラリー浸透、遠心分離又は電気泳動により、短時間でかつ経済的に堆積できる。好ましい実施例において、基板はシリコンで、コアガラスはナトリウム-ボロシリケートである。

請求項（抜粋）：

基板を準備する工程、基板上に、下部クラッドとして働くガラス層を堆積させる工程;下部クラッド上に、それより大きな屈折率を有するガラスの粒子層を堆積させる工程;粘性シンタにより粒子層を固化させる工程;光導波路コアを規定するために、固化層をパターン形成する工程;コアより低い屈折率を有する上部クラッドとして働かせるために、パターン形成したコア上に、ガラスの層を堆積させる工程を含むプレーナ光デバイスの作製方法。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  C03B 8/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-139710
  
• 特開昭56-085708