特許

J-GLOBAL ID：200903038184202185

精密位置決め微動送り装置およびシステム

発明者： 畑 村 洋 太 郎
出願人/特許権者： 畑村 洋太郎
代理人 (1件)： 世良 和信 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328335
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138484
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】【目的】 分解能が高くかつ高速で送りストロークを大きくとることができ、しかもコンパクトで、軸方向荷重やモーメント荷重に強い精密位置決め微動送り装置およびシステムを提供する。また、位置決めの際の微小振動の問題を解消する。【構成】 送りねじ軸3に螺合されるナット部5に軸方向伸縮部6を設け、粗動を送りねじ軸3とナット部5のねじ送り機構で行い、微動を軸方向伸縮部6により行うことを特徴とする。軸方向伸縮部6は、軸方向に弾性変形可能でかつ回転方向には剛な弾性部材7と、軸方向に伸縮可能な微小変位手段8と、弾性部材7の軸方向変位を検出する検出手段9と、を具備し、検出手段9によって検出された検出値に基づいて微小変位手段8のストロークを制御してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

送りねじ軸に螺合され送りねじ軸の回転によって直線運動するナット部に、該ナット部に対して送りねじ軸の軸方向に伸縮可能の軸方向伸縮部を設け、該軸方向伸縮部に被送り部材を取付け、該被送り部材の粗動送りを送りねじ軸により行うと共に、微動送りを軸方向伸縮部により行うことを特徴とする精密位置決め微動送り装置。

IPC (3件)：

B23Q 5/44 ,  B23Q 5/22 ,  F16H 25/22

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-221240
  
• 特公昭43-003859
  
• 特開昭63-193089
  
• 特表昭63-500362