特許

J-GLOBAL ID：200903038184904074

ウェーハ搬送装置

発明者： 田 中 優 子
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  岩手東芝エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-274486
公開番号（公開出願番号）：特開平7-125843
出願日： 1993年11月02日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハ製造の歩留りを可及的に向上させることを可能にする。【構成】 ウェーハが載置される外周上に所定の大きさの凸起部が周方向に沿って所定の間隔で配置された2本のベルトと、これらのベルトを駆動するベルト駆動手段と、を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ウェーハが載置される外周上に所定の大きさの凸起部が周方向に沿って所定の間隔で配置された2本のベルトと、これらのベルトを駆動するベルト駆動手段と、を備えていることを特徴とするウェーハ搬送装置。