特許

J-GLOBAL ID：200903038188769295

スクライブ装置

発明者： 小寺 琢己 ,  小幡 文雄
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-113944
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302028
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：

【要約】【課題】 ロットや機種が変更になっても原点の再設定を行うことなく、ガラス基板の厚さやスクライブレールあるいはスクライブテーブルの水平度にばらつきがあっても均一なスクライブラインを形成できるスクライブ装置を提供する。【解決手段】 ガラス基板40を吸着して保持するスクライブテーブル32と、カッターホイールチップ44を所定の刃先圧力及び切り込み量でスクライブレール34に沿って移動させつつスクライブテーブル32に保持されたガラス基板40にスクライブラインを形成するスクライブヘッド36とを備え、スクライブヘッド36は、カッターホイールチップ44付近のガラス基板40の表面に当接しガラス基板40の表面に倣ってカッターホイールチップ44を移動させる倣い機構を備える。

請求項（抜粋）：

ガラス基板を吸着して保持するスクライブテーブルと、カッターホイールチップを所定の刃先圧力及び切り込み量でスクライブレールに沿って移動させつつ前記スクライブテーブルに保持されたガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブヘッドとを備えるスクライブ装置において、前記スクライブヘッドは、前記カッターホイールチップ付近の前記ガラス基板の表面に当接し前記ガラス基板の表面に倣って前記カッターホイールチップを倣い移動させる倣い機構を備えることを特徴とするスクライブ装置。

IPC (4件)：

C03B 33/033 ,  B26F 3/00 ,  C03B 33/037 ,  G02F 1/1333 500

FI (4件)：

C03B 33/033 ,  B26F 3/00 A ,  C03B 33/037 ,  G02F 1/1333 500