特許
J-GLOBAL ID：200903038197860726
実質的に扁平な円板形の基板に成膜処理を施すための成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-273963
公開番号（公開出願番号）：特開平11-158618
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 カソードの交換時間を可能最短時間に短縮し、装置構造の更なる単純化及び製造コストの更なる低廉化と相俟って稼働確実性を一層高めると共に、特に搬送室の周域に付加的に配置される駆動装置を省くことによって、装置に要する構造体積を縮小させる。【解決手段】 基板支台12が原動・伝動装置ユニット14の出力軸13と結合されており、かつ第1に該出力軸によって搬送空間19の内部で中位の運転位置から鉛直方向の昇降運動で上位の成膜処理位置と下位の休止位置へシフト可能であり、第2に前記出力軸13によって前記搬送空間19の内部で回転可能であり、真空ポンプ8のサクション接続管15が搬送室7の底板5に配置されておりかつ前記休止位置において基板支台12によって密閉可能である。
請求項（抜粋）：
円板形の蓋(4)と、該蓋に対して平行な1平面内で延びる底板(5)と、前記両部分つまり蓋と底板とを抗圧的に結合しかつ相互に間隔をおいて保持して搬送室側壁を形成するリング形のケーシング部(6)とから成るほぼ円筒形の搬送室(7)及び、該搬送室(7)に接続された真空ポンプ(8)及び、前記搬送室(7)の蓋(4)内に設けられていて基板(3,3′,...)をエアロックゲート式に搬入・搬出するために閉鎖プレート(16)によって密閉可能なエアロックゲート口(9)及び、前記蓋(4)と結合されていてカソード(10)を内蔵し前記蓋(4)内の開口(23)を介して前記搬送空間(19)に接続された成膜室(11)及び、前記搬送空間(19)内に回転可能に支承された基板支台(12)を備えた、カソードスパッタリング法によって実質的に扁平な円板形の基板(3,3′,...)に成膜処理を施すための成膜装置において、基板支台(12)が原動・伝動装置ユニット(14)の出力軸(13)と結合されており、かつ第1に該出力軸によって搬送空間(19)の内部で中位の運転位置(A)から鉛直方向の昇降運動で上位の成膜処理位置(B)と下位の休止位置(C)へシフト可能であり、第2に前記出力軸(13)によって前記搬送空間(19)の内部で回転可能であり、真空ポンプ(19)のサクション接続管(15)が搬送室(7)の底板(5)に配置されておりかつ前記休止位置(C)において基板支台(12)によって密閉可能であることを特徴とする、実質的に扁平な円板形の基板に成膜処理を施すための成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C23C 14/56
, H01L 21/68
C23C 14/34 J
, C23C 14/56 H
, H01L 21/68 N
