特許

J-GLOBAL ID：200903038203779006

ファイングレインミリング加工装置及びその方法

発明者： 今山 寛隆 ,  深沢 克也 ,  藤沢 政泰 ,  萩原 芳樹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048229
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253841
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】本発明は、被加工物に高精度な彫刻を施し、長期間にわたり精度の安定したファイングレインミリング装置を目的とする。高圧流体に粉体を混合しマスクで覆われた被加工物に吹き付けることにより前記被加工物を所望形状に加工するファイングレインミリング加工装置において、前記被加工物に前記粉体を吹き付ける吹き付け手段と、前記被加工物に吹き付けられ表面に付着した粉体を高圧流体を吹き付けることにより除去する除去手段とを有することを特徴とするファイングレインミリング加工装置。【効果】複数の被加工物に対してファイングレインミリング加工して、マスク寸法を正確に転写することができ、しかも均一な加工深さを得ることができる。また、加工室内における摺動部の損傷がなく、運動精度の安定化及び装置寿命の長期化に寄与する。

請求項（抜粋）：

高圧流体に粉体を混合しマスクで覆われた被加工物に吹き付けることにより前記被加工物を所望形状に加工するファイングレインミリング加工装置において、前記被加工物に前記粉体を吹き付ける吹き付け手段と、前記被加工物に吹き付けられ表面に付着した粉体を高圧流体を吹き付けることにより除去する除去手段とを有することを特徴とするファイングレインミリング加工装置。

IPC (3件)：

B24C 3/12 ,  B24C 1/04 ,  B24C 9/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-015975
  
• 特開昭63-109978
  
• 特公昭43-004487
  
• 特開昭52-126590