特許
J-GLOBAL ID：200903038207850651
リンク機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237877
公開番号（公開出願番号）：特開平11-062979
出願日： 1997年08月20日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 塵埃の発生が少なくて半導体製造装置や液晶パネル製造装置などの清浄な雰囲気を必要とする環境下、真空環境下や腐食性雰囲気環境下でも使用することができるリンク機構を提供する。【解決手段】 少なくとも保持器26の表面に無電解ニッケル被膜20を介してフッ素樹脂被膜21が被膜されている軸受をリンク機構1に用いたもので、リンク機構1は2つの帯状のリンク2,3を有し、それぞれの一端部に形成された止め孔7には転がり軸受4,5が内嵌されている。リンク2,3は転がり軸受4,5を介して揺動自在に連結されている。転がり軸受4が内嵌されるリンク2の表面にはその中心軸に対して同心円状の溝6が形成されており、対向する他方のリンク3の表面との間でラビリンス構造を形成する。
請求項（抜粋）：
少なくとも2つのリンクを揺動自在に連結する関節部に転がり軸受を用いたリンク機構において、転がり摩擦またはすべり摩擦が生じる前記転がり軸受の表面のうち、少なくとも保持器の表面に無電解ニッケル被膜を形成し、該無電解ニッケル被膜の上にフッ素樹脂被膜が成膜されたことを特徴とするリンク機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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