電界放出カソードと磁気センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：脇篤夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-228516
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067061
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】電界放出カソードと磁気センサを提供する。【解決手段】11はガラスフアイバであり、その中心部にはカーボン繊維12が埋設されている。ガラスフアイバ11の端面は台形状となるようにテーパ面13に切削されており、また、ガラスフアイバ11の表面にテーパ面13の部分にも延長するよう導電性皮膜14が無電解メッキ等によってガラスフアイバ11の表面に付けられている。導電性皮膜14がカーボン繊維12に至近距離となるように形成されているので、従来の電界放出カソードと同様に導電性皮膜14をゲート、カーボン繊維12の1本、1本をエミッタとして電界放出カソードを構成し、導電性皮膜14とカーボン繊維の間に電圧を加えると、至近距離となっているカーボン繊維12の先端部に電界が集中し、電子を放出することができる。また、これらを真空容器中でアノード電極と対向するように配置して、3次元の磁気センサを構成することができる。

請求項（抜粋）：

先端部をテーパ状に成形したガラスフアイバと、前記ガラスフアイバの長手方向の中心部に埋設されているカーボン繊維からなり、前記カーボン繊維と絶縁された状態で前記ガラスフアイバの周辺部が導電性材料により被覆されていることを特徴とする電界放出カソード。

IPC (3件)：

H01J 1/30 , G01R 33/028 , H01J 21/06

FI (3件)：

H01J 1/30 F , G01R 33/028 , H01J 21/06

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