特許

J-GLOBAL ID：200903038212279695

セラミック被覆部材とその製造方法

発明者： 田村 元紀
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273536
公開番号（公開出願番号）：特開平5-214512
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 工具鋼、軸受鋼を基材として用いた耐摩耗性と耐食性に優れたセラミック被覆部材とその製造方法を提供するものである。【構成】 工具鋼、軸受鋼を基材とし、窒化チタン、炭化チタンまたは炭窒化チタン膜であって当該膜をTiCxN1-xと表すとき、前記の基材の表面に0≦X≦0.1で膜厚0.5μm以上2.0μm以下の界面層、0.6≦X≦1.0で膜厚0.5μm以上5.0μm以下の中間層、さらに0≦X≦0.6で膜厚1.0μm以上5.0μm以下の最表層からなる皮膜を成膜する。皮膜の作成は、蒸発源を金属チタンとし、窒素ガス、アセチレンを含む反応ガスを使用し、アーク放電を利用したイオンプレーティング法によって組成を制御して成膜する。

請求項（抜粋）：

工具鋼、軸受鋼を基材とし、窒化チタン、炭化チタンまたは炭窒化チタン膜であって当該膜をTiCxN1-xと表すとき、前記の基材の表面に0≦X≦0.1で膜厚0.5μm以上2.0μm以下の界面層、0.6≦X≦1.0で膜厚0.5μm以上5.0μm以下の中間層、さらに0≦X≦0.6で膜厚1.0μm以上5.0μm以下の最表層からなる皮膜を成膜してなることを特徴とするセラミック被覆部材。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 28/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-170559
  
• 特開昭53-082672