特許
J-GLOBAL ID：200903038217113213
光熱変位信号検出方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303938
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159379
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の反射率分布や凹凸分布の影響を受けることなく、試料表面とその近傍の内部情報を2次元的に高速に抽出すること。【構成】 ストライプビーム101により、試料47表面を直線状に沿った測定点各々を同時に励起し、各測定点で生じた光音響信号の検出に光干渉を利用し、干渉光を並列に同時にセンサ82で検出した上、抽出装置401で高速にディジタル処理することによっては、各測定点での光音響信号が高速に抽出された後、計算機403で実時間に2次元画像として表示されたり、試料47内部欠陥検査を行い得るものである。
請求項（抜粋）：
周波数fL ,fB ,fI が一定整数比に制御された状態で、試料上の直線状領域を該直線状領域の長手方向と直交する方向に移動させるべく、該試料と検出光学系との相対位置関係が更新される度に、光源からの光を可変設定可とされた周波数fL で強度変調した上、試料表面の直線状領域に同時に照射することによって、該直線状領域の表面に周期的に光熱変位を発生させる一方では、該直線状領域に同時に他の光を照射し、該他の光に対する試料表面からの反射光を、周波数がfB だけ異なる参照光との間で干渉させ、干渉結果としての干渉光は測定点対応の光電変換素子からなる直線状検出器で1/fI 時間周期で複数回に亘って積分検出されるに際し、最初の積分検出値が上記光電変換素子対応のアドレスにもとづきメモリに初期値として記憶された後は、該メモリの内容は上記直線状検出器から光電変換素子対応の積分検出値が得られる度に、該積分検出値との間で1/fI 時間周期の整数倍間隔で加算、減算が行われることによって更新記憶される結果として、上記直線状領域内の測定点各々についての光熱変位情報が抽出されるようにした光熱変位信号検出方法。
引用特許：
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