特許
J-GLOBAL ID：200903038217784606
合金化反応表面の状態検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-199345
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055737
出願日： 1993年08月11日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 合金化反応中の表面状態及び温度を同時に検出し、測定精度を向上させる。【構成】 合金化表面の分光放射率をその波長λの関数で仮定し、関数中のパラメータによって表面状態との対応がつけられることを用い、且つこのパラメータが2波長式温度計測で検知可能なことを利用して、反応中の状態が温度と同時に検出できるようにして、合金化プロセス精度向上を図る。
請求項（抜粋）：
合金化反応表面の分光放射率ελの特性を、a 、b をパラメータとして、次式ελ=exp {a /√(λ)+b /λ}で仮定し、該仮定式を、2つの異なる波長帯域λ1、λ2の分光放射率ε1、ε2に適用して得られる次式で与えられるパラメータ値、a =(λ1lnε1-λ2lnε2)/(√(λ1)-√(λ2))を前記2波長での輝度エネルギ信号より求め、前記パラメータa の値によって合金化反応表面の状態及び表面温度を測定することを特徴とする合金化反応表面の状態検出方法。
IPC (3件)：
G01N 25/02
, G01J 9/04
, G01N 33/20
