特許

J-GLOBAL ID：200903038220426206

走査電子顕微鏡におけるコントラスト調整方法および走査電子顕微鏡

発明者： 二村 良彦
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115472
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 短時間にコントラストを所望の値とすることができる走査電子顕微鏡におけるコントラスト調整方法および走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】 電源10から印加される増倍電圧を1,V2とし、この時のコントラスト値C1,C2をそれぞれコントラスト値検出回路15で検出する。このコントラスト値C1,C2は演算回路18に供給されて次の演算を行う。α=ln(C1/C2)/ln(V1/V2)実際の自動コントラスト調整動作においては、設定値算出回路16は、供給されたコントラスト値と、電源10から光電子増倍管8に印加された光電子増倍電圧と、演算回路18からのαの値とにより、コントラストを所望値に一致させるために必要な電圧を演算する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得られた2次電子を検出する光電子増倍管を有した2次電子検出器とを備え、2次電子検出器からの信号に基づいてコントラスト値を得、得られたコントラスト値と所望値とに基づいて光電子増倍管の増倍電圧を変えるようにした走査電子顕微鏡におけるコントラスト調整方法において、複数の光電子増倍管の増倍電圧におけるコントラスト値から光電子増倍管固有の値を求め、実際のコントラスト調整時には、2次電子検出器からの信号に基づいてコントラスト値を得、得られたコントラスト値と所望値とこの固有の値とに基づいて光電子増倍管の増倍電圧を変えるようにした走査電子顕微鏡におけるコントラスト調整方法。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/244

FI (2件)：

H01J 37/22 502 F ,  H01J 37/244