特許
J-GLOBAL ID：200903038223151720
光学的歪検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057117
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306152
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 透光性を有する被検査物の光学的歪を定量的に抽出し検査することで精度よくばらつきの無い評価を行なえると共に、光学的歪の範囲を定量的に表せる検査装置の提供。【構成】 光源ユニット2から照射される照明光の照射方向に、検体W、スリット3、及び、投影面5の順に夫々配置させる。光源ユニット2から照射される光が、光源ユニット2と検体Wとの中間に配置されたスリット3のスリット孔31により一部遮光されることで、照射される照明光が検体Wを透過し投影面5に投影される。投影された像は画像入力部6で撮像され画像信号が画像処理部7に出力される。画像処理部7は入力する画像信号を複数部分に分割し、各部分における各画素の濃淡レベルのばらつきの度合いに基づいて歪の有無を判定し、濃淡画像全体における歪有り部分の割合を求める。
請求項（抜粋）：
透光性を有する被検査物に向けて照明光を照射する光源ユニットと、被検査物を透過した前記照明光を投影する投影面と、投影面を撮像して濃淡画像を生成する画像入力部と、画像入力部で得られた濃淡画像の濃淡レベルのばらつきの度合いに基づいて歪の有無を判定する画像処理部とを有することを特徴とする光学的歪検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/16
, G01M 11/00
, G06T 7/00
