新規な光感受性ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高木千嘉 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-572720
公開番号（公開出願番号）：特表2002-526793
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】酸に不安定な官能基を含むポリベンゾオキサゾール前駆体、光による酸の生成剤、光増感剤、および溶媒を含有するポジとして作用する耐熱性の光感受性組成物。酸に不安定な官能基を含むポリベンゾオキサゾール前駆体は構造(I)を有し、この場合、k1は1または2の整数であり、k2は0または1の整数であり、またk1とk2との合計は2であり;Ar1は4価の芳香族、脂肪族または複素環基あるいはこれらの混合物であり;Ar2は2価の芳香族、脂肪族または複素環基あるいはシロキサン基であり;Dは酸に不安定な1価の基であり;そしてnは20〜200の整数である。Ar1の一部は、ジアミン化合物の割合が0〜60モル%であり、ジアミンとジアミノジヒドロキシ化合物との合計が100%であるように、2価の芳香族、脂肪族または複素環のジアミン部分であってよい。化学増幅に基づきポジとして作用し、水性塩基で現像可能な光感受性ポリベンゾオキサゾール(PBO)前駆体の製造、樹脂組成物の処方、およびこの樹脂組成物から耐熱性のレリーフ構造物を製造する方法。ポジの光感受性樹脂組成物は超小型電子技術での応用において特に好適である。【化1】

請求項（抜粋）：

酸に不安定な官能基を含むポリベンゾオキサゾール前駆体、光による酸の生成剤、溶媒、および場合によっては光増感剤を含むポジとして作用する光感受性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/037 501 , C08K 5/00 , C08L 79/04 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/037 501 , C08K 5/00 , C08L 79/04 B , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (26件)：

2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ10 , 2H025CA00 , 2H025CB26 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC06 , 2H025FA01 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM031 , 4J002EB106 , 4J002EQ036 , 4J002EU186 , 4J002EV296 , 4J002EW176 , 4J002FD146

引用特許：

審査官引用 (2件)

ポジ型感光性耐熱材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-354657 出願人：旭化成工業株式会社
特開平3-204649

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