特許
J-GLOBAL ID：200903038232275653

光学ユニット、露光装置および光学機器

発明者：
吉田 節男

吉田 節男 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354891
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156668
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 押え環等をレンズの光学面に当接させる保持構造では、光学面の弾性変形が大きく、光学性能が劣化する。【解決手段】 光学素子1と、この光学素子を保持する素子保持部材3,4とを有する光学ユニットにおいて、光学素子に、この光学素子の光学面とは異なる面としての保持面を形成し、素子保持部材を上記保持面に当接させることにより光学素子を保持させる。例えば、光学素子に、光軸方向に略平行な保持面を形成し、素子保持部材をこの保持面に光軸を中心とする周方向から当接させる。
請求項（抜粋）：
光学素子と、この光学素子を保持する素子保持部材とを有する光学ユニットであって、前記光学素子に、この光学素子の光学面とは異なる面としての保持面が形成され、前記素子保持部材は、前記保持面に当接することにより前記光学素子を保持することを特徴とする光学ユニット。
IPC (4件)：
G02B 7/02 ,  G02B 3/00 ,  G02B 7/00 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G02B 7/02 A ,  G02B 7/02 B ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 7/00 F ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (11件)：
2H043AE10 ,  2H043AE24 ,  2H044AA13 ,  2H044AA20 ,  2H044AB07 ,  2H044AB09 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CB03 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12
引用特許：
審査官引用 (3件)

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