特許
J-GLOBAL ID：200903038236547585
2次電子検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-016623
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212962
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 特定のエネルギの2次電子を選択的に検出することができる2次電子検出器を実現する。【構成】 2次電子eの内、比較的エネルギの高い電子e2は-200Vの電圧が印加されたメッシュ状の第3の電極7を通過し、正の高電圧が印加された第4の電極11に入射して吸収される。一方、比較的エネルギの低い電子e1は、メッシュ状の第3の電極7の負の電界によって反射され、+100Vの電圧が印加された第2の電極5を通過してシンチレータ13に入射する。シンチレータ13は入射した2次電子e1の量に応じて発光する。このシンチレータ13における発光は、ガラス部材12、光ファイバー14を介して光電子増倍管15の光電変換面16に入り、電気信号に変換される。
請求項（抜粋）：
試料へ電子ビームを照射した結果試料から発生した2次電子を引き込む第1の電極と、第1の電極を通過した2次電子の内、第1のレベル以下のエネルギの2次電子を反射させ、第1のレベル以上のエネルギの2次電子を通過させる第2の電極と、第2の電極によって反射された2次電子を引き寄せる第3の電極と、第3の電極を通過した2次電子を検出する検出器とを備えた2次電子検出器。
IPC (3件)：
H01J 37/244
, G01T 1/28
, H01J 37/28
