特許
J-GLOBAL ID:200903038237547368
微粒子の規則的配列方法および光記録媒体
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池浦 敏明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-084535
公開番号(公開出願番号):特開平10-261244
出願日: 1997年03月17日
公開日(公表日): 1998年09月29日
要約:
【要約】【課題】 量子効果や触媒効果などの分野に利用でき、また相変化光記録において高密度記録を可能にする超微粒子の規則的配列方法を得る。【解決手段】 基板上に、誘電体材料からなる所定の間隔、幅、厚さを有する微細な凹凸のパターンを形成し、該微細な凹凸のパターン上に金属微粒子を形成する。
請求項(抜粋):
基板上に、誘電体材料からなる所定の間隔、幅、厚さを有する微細な凹凸のパターンを形成し、該微細な凹凸のパターン上に金属微粒子を形成することを特徴とする微粒子の規則的配列方法。
IPC (5件):
G11B 7/26
, C23C 14/08
, G11B 7/24 511
, G11B 7/24 522
, H01L 21/203
FI (5件):
G11B 7/26
, C23C 14/08 N
, G11B 7/24 511
, G11B 7/24 522 Z
, H01L 21/203 Z
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