受光アレイ素子、受光モジュール及び受光モジュールと光コネクタとの接続構造

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-028208
公開番号（公開出願番号）：特開2002-185032
出願日： 2001年02月05日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】隣接する受光領域間におけるクロストークの発生を抑制可能な受光アレイ素子、この受光アレイを備えた受光モジュール及び受光モジュールと光コネクタとの接続構造を提供する。【解決手段】単一の基板5aの一方の面に吸収層5b及びクラッド層5cが形成されると共にクラッド層にアノード5eが、他方の面にカソード5gが、それぞれ形成され、複数の受光領域5dを有する受光アレイ素子5、受光モジュール10及び受光モジュール10と光コネクタとの接続構造。受光アレイ素子5は、一方の面に、隣接する受光領域5d間における光の伝播を遮断する遮断溝5hが、吸収層5bを分断する位置まで形成されている。

請求項（抜粋）：

単一の基板の一方の面に吸収層及びクラッド層が形成されると共に前記クラッド層にアノードが、他方の面にカソードが、それぞれ形成され、複数の受光領域を有する受光アレイ素子において、前記一方の面に、隣接する受光領域間における光の伝播を遮断する遮断溝が、前記吸収層を分断する位置まで形成されていることを特徴とする受光アレイ素子。

IPC (4件)：

H01L 31/10 , G02B 6/42 , H01L 27/14 , H01L 31/0232

FI (5件)：

G02B 6/42 , H01L 31/10 A , H01L 27/14 Z , H01L 27/14 D , H01L 31/02 C

Fターム (38件)：

2H037AA01 , 2H037BA14 , 4M118AA05 , 4M118AB05 , 4M118BA06 , 4M118CA03 , 4M118CA05 , 4M118CA06 , 4M118CA19 , 4M118CA34 , 4M118CB01 , 4M118EA01 , 5F049MA04 , 5F049MB07 , 5F049MB12 , 5F049NA04 , 5F049NB01 , 5F049PA09 , 5F049PA14 , 5F049RA04 , 5F049SS04 , 5F049SZ03 , 5F049TA14 , 5F049TA20 , 5F088AA03 , 5F088AB07 , 5F088AB17 , 5F088BA03 , 5F088BB01 , 5F088CB09 , 5F088CB14 , 5F088EA02 , 5F088FA05 , 5F088FA12 , 5F088GA05 , 5F088HA03 , 5F088JA14 , 5F088JA20

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-058878
半導体受光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-366221 出願人：富士通株式会社
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-335275 出願人：株式会社ニコン

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