特許
J-GLOBAL ID：200903038240721123
ウエハ支持用回転テーブル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257357
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097515
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】ウエハを容易、かつ、確実に支持することができるウエハ支持用回転テーブルを提供すること。【解決手段】その外周縁部31aに円板状のウエハWの外周部Waを位置決めして載置するテーブル30aと、このテーブル30aをウエハWの軸心線回りに回転させる回転駆動モータ34と、テーブル30aの上記外周縁部に設けられ、上記回転駆動モータ34によるテーブル30aの回転に伴ってウエハWの上面側をテーブル30a側に押圧する押圧部33とを備えている。
請求項（抜粋）：
その外周縁部に円板状のウエハの外周部を位置決めして載置するテーブルと、このテーブルを回転させる回転機構と、上記テーブルの上記外周縁部に設けられ、上記回転機構による上記テーブルの回転に伴って上記ウエハの上面側を上記テーブル側に押圧する押圧部とを備えていることを特徴とするウエハ支持用回転テーブル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/205
