特許
J-GLOBAL ID：200903038241693700
排気方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 哲男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-183657
公開番号（公開出願番号）：特開平5-007764
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 ガス供給装置内の残留ガスを最少限に抑えるとともに迅速に除去する装置を提供する。【構成】 反応ガスによる処理後排気するに際し、上記反応ガスの非付着性臨界温度以上にガス供給装置の内壁を加熱状態を維持しながら真空引きを行い、上記真空引き中にガス供給装置内のパージガス導入を継続的に実行することにより迅速に排気する。
請求項（抜粋）：
処理容器内に室温で液体である処理ガスを供給するガス供給配管の配管内にパージガスを流入させ、真空引きして排気するに際し、前記パージガス流に接する前記配管の内壁を処理ガス非吸着臨界温度以上に加熱状態で維持する工程と、真空引き継続中パージガスを断続的に前記配管内に供給する工程とを具備してなることを特徴とする排気方法。
IPC (4件)：
B01J 4/00 102
, C23F 4/00
, H01L 21/22
, H01L 21/205
