特許
J-GLOBAL ID：200903038242920204
パターン検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-183386
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023484
出願日： 1997年07月09日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】欠陥を過剰検出することなくはんだ付用ピンランドの良否を判定する。【解決手段】ピン挿入孔のポジパターンを取得し(271)ノイズパターンを除去した後に拡大したもの(281)と、ピン周囲部に形成されたはんだ付用ピンランドのポジパターン(272)を取得して反転したもの(282)との論理積パターン(283)を取得し、この論理積パターンのサイズが設定値以上であればピンランドが欠陥であると判定する。
請求項（抜粋）：
基材の孔の周囲部に形成されたリング状ランドのパターンを検査するパターン検査方法において、該孔のパターンを第1パターンとして取得し、該ランドのパターンを第2パターンとして取得し、該第1パターンを拡大して拡大第1パターンを取得し、該拡大第1パターン内かつ該第2パターン外の部分に基づいて該ランドの良否を判定する、ことを特徴とするパターン検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G01B 11/24 F
