特許
J-GLOBAL ID：200903038243043703
圧電素子、圧電素子の製造方法及び電子機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-006676
公開番号（公開出願番号）：特開2008-177192
出願日： 2007年01月16日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】均一でかつ緻密な構造を有する圧電素子を電界の印加により変形させる場合、圧電素子内に機械的応力が発生する。この機械的応力は、圧電素子を構成する圧電体と、基体との間に集中する。特に、圧電体に脆性を有するセラミックを含む場合、この応力により圧電体の基体電極側から劣化が進み、圧電素子の信頼性を低下させるという課題がある。【解決手段】圧電体領域72と基体としての弾性膜50との間に、圧電特性を有しかつ圧電体と比べヤング率の小さい素材であるゼオライト、シリカ、空孔の少なくともいずれか1つを混入させた緩衝領域71を形成する。ヤング率の小さい素材の混入により緩衝層のヤング率は低下し、容易に応力変形することが可能となり、圧電体領域72と基体としての弾性膜50との間に集中する応力を分散緩和することが可能となり、高い信頼性を有する圧電素子300及びその製造方法を提供することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基体と、
前記基体の第1面側に配置される圧電体領域と、
前記基体の前記第1面と前記圧電体領域との間に配置される第1電極と、
前記圧電体領域を挟み前記第1面と対向する位置に配置される第2電極と、
前記第1電極と前記圧電体領域との間に配置される、ゼオライト、シリカ、空孔の1種類以上を含みかつ圧電特性を有する緩衝領域と、を含むことを特徴とする圧電素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/187
, B41J 2/16
H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101J
, H01L41/08 L
, H01L41/08 J
, B41J3/04 103H
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
