特許

J-GLOBAL ID：200903038259219372

基板洗浄装置

発明者： 小笠原 和久 ,  前田 順久
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-167713
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029865
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 小型でクリーンルームを占有する装置面積が小さく、且つ、装置面積を増加しないで洗浄能力増加改造が可能な基板洗浄装置を提供する。【構成】 基板1を洗浄位置に保持して回転する基板保持部10と、前記洗浄位置近傍に配置されて基板1を洗浄する湿式洗浄手段12と、回転手段22又は移動手段21を有して前記洗浄位置と退避位置間を往復移動し前記洗浄位置で交替して基板1を洗浄する湿式洗浄手段19、20と、基板保持部10と湿式洗浄手段12、19、20とを内蔵する湿式洗浄カバー部7と、基板保持部10と湿式洗浄手段12、19、20と湿式洗浄カバー部7とを制御して2種類以上の湿式洗浄方法を実施する制御部42とを備えた湿式洗浄ユニット3と、湿式洗浄ユニット3に対して基板1を搬入・搬出する基板搬送ユニット4とを組み合わせる。

請求項（抜粋）：

基板を洗浄位置に保持し必要によって回転する基板保持部と、前記洗浄位置近傍に配置されて前記洗浄位置の基板を洗浄する湿式洗浄手段と、回転手段又は移動手段を有して前記洗浄位置と退避位置間を往復移動し前記洗浄位置で交替して基板を洗浄する湿式洗浄手段と、前記基板保持部と前記湿式洗浄手段とを内蔵し洗浄時には閉じて洗浄液や洗浄された付着物が飛び散るのを防止し基板搬入・搬出時には開いて基板を搬入・搬出する湿式洗浄カバー部と、前記基板保持部と前記湿式洗浄手段と前記湿式洗浄カバー部とを制御して2種類以上の湿式洗浄方法を実施し基板を洗浄する制御部とを備えた湿式洗浄ユニットと、前記制御部に制御され前記湿式洗浄ユニットに対して基板を搬入・搬出する基板搬送ユニットとを組み合わせたことを特徴とする基板洗浄装置。