積層導電膜、電気光学表示装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：家入健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-282687
公開番号（公開出願番号）：特開2009-111201
出願日： 2007年10月31日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】ITO等の酸化物透明導電膜の上に直接、光反射率が高いAl系合金膜を成膜した欠陥のない積層導電膜を提供すること。【解決手段】本発明の一態様に係る積層導電膜は、光透過性を有する透明導電膜と、前記透明導電膜上に直接積層して形成され、前記透明導電膜との界面近傍に窒素原子、酸素原子の少なくとも1種類以上を含むことにより、前記透明導電膜に電気的に接続されるAl又はAlを主成分とするメタル導電膜とを有する。また、メタル導電膜は、透明導電膜との界面近傍にさらに周期律の8族元素のFe、Co、Ni、4b族元素のC、Si、Geから選ばれる少なくとも1種類以上の原子を含む。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

光透過性を有する透明導電膜と、前記透明導電膜上に直接積層して形成され、前記透明導電膜との界面近傍に窒素原子、酸素原子の少なくとも1種類以上を含むことにより、前記透明導電膜に電気的に接続されるAl又はAlを主成分とするメタル導電膜と、を有する積層導電膜。

IPC (6件)：

H01L 21/320 , H01L 23/52 , G02F 1/133 , G02F 1/134 , G02F 1/136 , H01L 29/786

FI (8件)：

H01L21/88 R , G02F1/1335 520 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01L21/88 N , H01L29/78 612C , H01L29/78 616U , H01L29/78 616V

Fターム (79件)：

2H091FA16Y , 2H091FB08 , 2H091FC02 , 2H091FD04 , 2H091GA03 , 2H091GA07 , 2H091GA13 , 2H091JA03 , 2H091LA12 , 2H092GA13 , 2H092GA19 , 2H092GA29 , 2H092HA04 , 2H092HA05 , 2H092JA24 , 2H092JA46 , 5F033HH09 , 5F033HH10 , 5F033HH17 , 5F033HH35 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ09 , 5F033JJ10 , 5F033JJ35 , 5F033JJ38 , 5F033KK01 , 5F033KK05 , 5F033LL02 , 5F033MM05 , 5F033NN06 , 5F033PP15 , 5F033QQ01 , 5F033QQ09 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033QQ53 , 5F033RR06 , 5F033RR21 , 5F033RR27 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX10 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE04 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG44 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL10 , 5F110HL11 , 5F110HL23 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN36 , 5F110NN40 , 5F110QQ01 , 5F110QQ09

引用特許：

出願人引用 (7件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-195219 出願人：シャープ株式会社
液晶表示装置とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-021290 出願人：廣輝電子股ふん有限公司
反射型液晶表示装置における基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-356809 出願人：シャープ株式会社

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