特許

J-GLOBAL ID：200903038261559938

基板吸着装置

発明者： 鈴木 伸幸 ,  宮田 一史 ,  松▲ざき▼ 英夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-080404
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【目的】ガラス基板の反りあるいは吸着ステージの異物に係わらずに、ガラス基板を正確に吸着させることのできる基板吸着装置を提供する。【構成】吸着ステージ1の中心を通る二分線に関して対称な位置かつロボットアーム挿入溝11から離れる方向に同心的に分割された複数の吸引溝7a,7b,7cと、吸引溝内に開口して真空力を形成するための吸引口と4a,5a,6aのそれぞれに一端を接続した複数の導管の他端をそれぞれ独立した開閉バルブ17a,17b,17c を介して共通に接続するマニホールド20に真空力を印加する真空吸引ポンプ21と、載置されたガラス基板を複数の吸引溝のロボットアーム挿入溝に近接する側から離れる側に順次時間差を持って吸引するごとく開閉バルブ17a,17b,17c の開閉を制御する制御装置22とを備えた。

請求項（抜粋）：

液晶表示素子を構成するガラス基板上に電極パターン等の所定の薄膜構造を形成する工程で前記ガラス基板を吸着ステージ上に真空力で吸着して所定の位置に保持するための基板吸着装置において、前記吸着ステージ1が、略前記ガラス基板の形状と相似形かつ若干大サイズの矩形状の硬質材料の板体からなり、前記板体の中心線を跨いで搬送ロボットのアームを挿抜するためのロボットアーム挿入溝と、前記板体の中心を通る二分線に関して対称な位置かつ前記ロボットアーム挿入溝のから離れる方向に同心的に分割された複数の吸引溝と、前記対称配置された吸引溝ごとに独立して前記の吸引溝内に開口し、前記吸引溝のそれぞれの内部に真空力を形成するための吸引口と、前記吸引口のそれぞれに一端を接続した複数の導管の他端をそれぞれ独立した開閉バルブを介して共通に接続するマニホールドと、前記マニホールド内に真空力を印加する真空吸引ポンプと、前記吸引ステージに載置されたガラス基板を前記複数の吸引溝の前記ロボットアーム挿入溝に近接する側から離れる側に順次時間差を持って吸引するごとく前記開閉バルブのそれぞれの開閉を制御する制御装置とを備えたことを特徴とする基板吸着装置。