特許

J-GLOBAL ID：200903038267821219

X線顕微鏡用光学装置

発明者： 中津井 久 ,  小川 公一 ,  加藤 義章 ,  児玉 了祐
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-069613
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271697
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】 X線顕微鏡装置やX線露光装置に好適な広視野角と高分解能を両立したX線光学装置を提供すること。【構成】 2個の双曲筒ミラー(1,2)と、2個の楕円筒ミラー(3,4)とを組み合わせ、2個の双曲筒ミラーは互いに直交するように配置し、これに接して、2個の楕円筒ミラーを互いに直交して配置している。

請求項（抜粋）：

2個の双曲筒ミラーと2個の楕円筒ミラーとを組み合わせたことを特徴とするX線光学装置。

IPC (4件)：

G21K 1/06 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G21K 1/06 M ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/30 531 A